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            密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
    
        
    
            
    
		
    
    
        密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用
    

    
	在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀 

    

    
	
    
     

    
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用
    
Pura高純氣體露點變送器主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
    
這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
    
Pura使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號，是一款完全可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。
    
亮點
    
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
    
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
    
高度集成的采樣裝置
    
模擬和數(shù)字輸出
    
安裝簡便密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用
    
VCR 過程接口
    
設(shè)計緊湊小巧
    
顯示/報警單元可選
    
高純氣體微量露點變送器
    
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
    
根據(jù)以往的經(jīng)驗，微量水分測量一直是一個難題，這需要使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測量?，F(xiàn)在，密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟的產(chǎn)品，可以在線測量露點達-120°C （小于1ppb）。
    
Pura露點變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗和專長。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器，適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
    
使用簡單密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用
    
這種獨立的變送器設(shè)計成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。
    
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部采用0.25Ra μm，以達到*小的吸濕性，潔凈度達到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。
    
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。
    
該產(chǎn)品的設(shè)計具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中*kuai的響應(yīng)速度，也保證了濕度測量時的*kuai響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時整個系統(tǒng)可承受的*da壓力為240 Barg (3480 psi)。
    
安裝和操作簡便
    
Pura安裝簡單。?”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器，提供*da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
    
可選的顯示
    
假如應(yīng)用中需要顯示露點值或濕度值，Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。
    
服務(wù)與校準(zhǔn)
    
密析爾為想要*少停機時間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩種服務(wù)：
    
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同，可以更換傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問題時，可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測，從而實現(xiàn)零停機時間。
    
校準(zhǔn) – 用戶將傳感器返回密析爾，密析爾會對返回的傳感器進行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過程中的傳感器就可以實現(xiàn)可追溯性。
    
陶瓷阻抗傳感器
    
Pura采用阻抗技術(shù)，是基于水分子的導(dǎo)電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
    
在半導(dǎo)體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導(dǎo)電層。導(dǎo)電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進入感濕層的水分子的數(shù)量，即對應(yīng)于導(dǎo)電層之間的阻抗值。露點值和水氣分壓有一一對應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗，阻抗值和露點值的對應(yīng)關(guān)系建立起來，被儲存在變送器的芯片中。
    
傳感器采用半導(dǎo)體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器極高的結(jié)構(gòu)強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所無法比擬的穩(wěn)定性。 
    
技術(shù)指標(biāo)
    
傳感器
    
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
    
量程	-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
    
精度	±1°C   -40 ~ -60°C;
    
±2°C   -61 ~ -100°C;
    
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
    
分辨率	0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
    
1°C           -80 ~ -100°C;
    
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
    
壓力	*低 10-9 torr; *大 24 MPa
    
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
    
電氣
    
電源	通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
    
輸出	4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
    
負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
    
輸出出錯狀態(tài)	標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
    
機械性能密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用
    
傳感器套筒	不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 
    
氣路連接端口	Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
    
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
    
安裝配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
    
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
    
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
    
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
    
Pura Sensor 型: 132 x 35mm主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
    
重量	Premium 或 OEM 型: 450g
    
Pura Sensor 型: 180g
    
包裝	Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
    
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
    
所有選配件: 獨立包裝運輸
    

    
	Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 

    

    
	更多密析爾Pura高純氣露點變送器在線露點儀適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用信息請直接致電埃登威上海021-55581219 

    
    
    

	
    

        
    
    
    
    
    
        
        
        
        
        
    
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