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  • Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

    Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

    tigeroptics HALO KA微量水分分析儀小巧、實(shí)惠、功能強(qiáng)大,為您帶來(lái):

    在一系列氣體中檢測(cè)濕度的萬(wàn)億分之一(ppt)

    體積小

    **測(cè)量(無(wú)需校準(zhǔn))

    成本低,操作容易Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

    廣泛的動(dòng)態(tài)范圍-超過(guò)4個(gè)數(shù)量級(jí)

    包括:速度+性能升級(jí)智能動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)處理提高了分析儀的響應(yīng)速度,同時(shí)保持了低噪聲性能.

    tigeroptics HALO KA微量水分分析儀技術(shù)參數(shù)

    操作范圍 請(qǐng)參閱圖片

    *低測(cè)量極限 請(qǐng)參閱圖片

    靈敏度(σ) ±0.75% or 1/3 of LDL

    精度(取大值) ±4% or LDLTigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

    響應(yīng)速度 <3分鐘 to 95%

    環(huán)境要求 10℃-40℃ , 30℃-80% RH(non-cond)

    儲(chǔ)存溫度 -10℃--50℃

    內(nèi)部管路材料 316L不銹鋼(選配:哈氏合金Hastelloy)10Ra表面光潔度

    氣體接口 1/4“ male VCR入口和出口Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

    泄露測(cè)試 1×10-9 mbar 1/sec

    入口氣體壓力 10-125psig(1.7-9.6bar)

    流量 0.05--1.8slpm

    樣品氣體 惰性氣體、有毒氣體、活潑或腐蝕性氣體

    更多Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用信息請(qǐng)直接致電埃登威上海021-55581219

    滬公網(wǎng)安備 31010902002456號(hào)