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  • Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家|埃登威自動化系統(tǒng)設備(上海)有限公司

    Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家

    便攜式真空計校準裝置主要由校準室、抽氣系統(tǒng)和進氣系統(tǒng)三部分組成。整體尺寸為450mm×400mm×750mm,總重量不到40kg。該裝置的外形如圖1所示。

    便攜式真空計校準裝置的原理和結構如圖2所示,RP為機械泵。TMP是分子泵;VC1是校準室;VC2是調壓室;C1、C2和C3分別為直徑約為0.02、0.1和11毫米的孔隙;V1和V10是截止閥;V2是全金屬角閥;V3、V4、V5、V6為波紋管截止閥;V7和V9是球閥;V11是標準容積的閥門;G1和G4在監(jiān)控真空表;G2和G3是全量程為133,1.33× 105 Pa的電容式薄膜真空計。Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家

    1.校準室

    校準室VC1是一個直徑為200 mm的球形容器。球形結構是真空計量標準的理想結構,氣體分子可以很容易地均勻分布在球體中。五個CF35法蘭和兩個8VCR接口設計在校準室的赤道上,用于安裝被校準的真空計和參考標準。校準室和法蘭采用SUS316L鋼,內表面經(jīng)過電解拋光和化學清洗,并通過高溫脫氣去除材料內部的氣體。美國INFICON公司生產(chǎn)的電容薄膜真空計G2和G3安裝在校準室內作為參考標準。Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家

    2.抽氣系統(tǒng)

    泵送系統(tǒng)由主泵分子泵TMP、機械泵RP、全金屬角閥V2、旁通泵送閥V3、孔板C3和閥V10組成。氮氣分子泵的標稱抽速為80L/s,通過一個全金屬角閥與校準室相連。在全金屬角閥和校準室之間,安裝一個直徑約為11mm的圓形薄壁限流抽氣孔C3,其對氮氣的電導約為10 L/s。分子泵的前級采用一個標稱抽速為2L/s的機械泵,在機械泵和分子泵之間安裝一個電磁隔離閥V1,用于在旁通排氣閥V3打開時隔離分子泵和機械泵。Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家

    3.進氣系統(tǒng)

    進氣系統(tǒng)主要由穩(wěn)壓室VC2、閥門V5、V6、V7、V8和V11以及小孔C1和C2組成,其中閥門V7與氣源相連。穩(wěn)壓室VC2是一個容積為2L的不銹鋼容器,上面裝有皮拉尼真空計G1。用靜態(tài)比較法和靜態(tài)膨脹法標定時,關閉閥門V8和V9,然后通過V7和V5(或V6)直接通入空氣;用動態(tài)流量法標定時,通過閥門V7和V8向VC2通入一定壓力的氣體,然后關閉V7,打開V5(或V6),再通過V8調節(jié)從VC2通入VC1的氣體壓力。

    通用
    200系列質量流量計和控制器規(guī)格(基于氮氣);標準溫度和壓力-0℃和760托
    通用氣體流量計和控制器
    流速范圍從0-10 sccm到0-500 slm。
    ?大流量可達15,000 slm。
    ?* *緊密度
    ?包括模擬輸出
    ?不銹鋼材料
    ?常閉控制閥

    [氣體流量計]
    HFM 200 (0-10 sccm至0-25,000 sccm)
    HFM 201 (0-25 slm至0-500 slm)
    HFM 200與LFE (0-25 slm至0-15,000 slm)
    [氣體流量控制器]
    HFC 202 (0-10 sccm至0-25,000 sccm)
    HFC 203 (0-25 slm至0-500 slm)
    HFM 200與LFE (0-25 slm至0-15,000 slm)
    200系列
    [流量計和控制器]
    快速響應,低壓降
    300系列質量流量計和控制器規(guī)格(基于氮氣);標準溫度和壓力-0℃和760托
    通用氣體流量計和控制器
    高響應、低壓降型
    流速范圍從0-5 sccm到8000 slm。
    ?金屬密封件
    ?包括模擬輸出
    ?不銹鋼材料
    ?常閉控制閥

    [氣體流量計]
    HFM 300 (0-5 sccm至0-25,000 sccm)
    HFM 301 (0-25 slm至0-1000 slm)
    HFM 305 (0-1000 slm至0-3000 SLM)
    HFM 306 (0-2500 slm至0-8000 SLM)
    [氣體流量控制器]
    氫氟碳化合物302 (0-5 sccm至0-25,000 sccm)
    HFC 303 (0-25 slm至0-1000 slm)
    HFC 307 (0-1000 slm至0-3,000 slm)
    300系列
    [流量計和控制器]
    數(shù)字、快速響應、低壓降
    300-D系列質量流量計和控制器規(guī)范(基于氮氣);標準溫度和壓力-0℃和760托
    數(shù)字、高響應、低壓差型
    流速范圍從0-5 sccm到8000 slm。
    ?金屬密封件
    ?**
    ?或RS485輸出。
    ?模擬輸出

    [氣體流量計]
    HFM-D-300 (0-5 sccm至0-25,000 sccm)
    HFM-D-301 (0-25 slm至0-1000 slm)
    HFM-D-305 (0-1000 slm至0-3000 SLM)
    [氣體流量控制器]
    HFC-D-302 (0-5 sccm至0-25,000 sccm)
    HFC-D-303 (0-25 slm至0-1000 slm)
    HFC-D-307 (0-1000 slm至0-3,000 slm)
    數(shù)字300系列
    [流量計和控制器]
    新型工業(yè)質量流量計
    400-I系列質量流量計規(guī)格(基于氮氣);標準溫度和壓力-0℃和760托
    新產(chǎn)品-工業(yè)應用Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家
    流量范圍從0-10 slm到0-2500 slm。
    ?**
    ?或數(shù)字模擬輸出。
    ?各種氣體的內置校正值
    ?帶求和功能
    ?適合在惡劣環(huán)境下工作。
    ?它也可以與網(wǎng)絡接口一起使用。

    [氣體流量計]
    HFM-I-401(0-10秒至0-350秒)
    HFM-I-405 (0-100 slm至0-2500 slm)
    400系列
    [質量流量計]
    數(shù)字、快速響應、低壓降
    電源和顯示器
    高溫型
    流量范圍包括
    0-10 sccm至0-14000 slm
    ?高達200°C的高溫
    ?不銹鋼材料
    【THPS-100單通道】
    目錄
    操作指南
    【THPS 400頻道4】
    目錄
    操作指南
    NALL系列
    PowerPods
    [流量計和控制器]
    【電源和顯示】




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