單晶硅生產(chǎn)中氬氣的使用及ADEV便攜式微量氧分析儀G9600應(yīng)用
在單晶硅生產(chǎn)中,氬氣起到了至關(guān)重要的作用。作為一種惰性氣體,氬氣可以有效地保護(hù)單晶硅和多晶硅不被氧化。在高溫環(huán)境下,氬氣以原子狀態(tài)存在,不會發(fā)生分子分解或原子吸熱的現(xiàn)象。
氬氣的特性使其成為理想的保護(hù)氣體。首先,由于氬氣是一種單原子氣體,它在高溫下仍能保持穩(wěn)定,不會與硅材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。其次,氬氣的比熱容和熱傳導(dǎo)能力相對較小,這意味著它不易吸收熱量,也不易將熱量傳遞出去。因此,氬氣的存在能夠減少熱能的散失,有助于節(jié)約能源。
此外,流動的氬氣還能帶走硅液中的揮發(fā)物和其他雜質(zhì),從而防止單晶硅或多晶硅液被沾污。這確保了單晶硅產(chǎn)品的質(zhì)量不受影響。另外,氬氣從上而下形成均勻的層流,從晶體表面掠過,能夠帶走結(jié)晶過程中釋放的潛熱。這有助于單晶硅的正常生長,確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行。
一、氬氣在單晶硅生產(chǎn)中的應(yīng)用
在單晶硅的生產(chǎn)過程中,氬氣作為一種保護(hù)氣體被廣泛應(yīng)用于各個工藝環(huán)節(jié)。首先,在拉晶過程中,氬氣作為保護(hù)氣體能夠有效地防止硅熔體與空氣中的氧氣和氮?dú)饨佑|,從而避免了硅片表面的氧化和氮化,提高了硅片的純度和質(zhì)量。
其次,氬氣還被用作熱場和坩堝的填充氣體,以維持穩(wěn)定的溫度和壓力環(huán)境。此外,氬氣還被用于控制硅棒的生長速度和形態(tài),確保硅棒的穩(wěn)定性和均勻性。單晶硅生產(chǎn)中氬氣的使用及ADEV便攜式微量氧分析儀G9600應(yīng)用
單晶硅是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中使用*多的材料之一,是制造太陽能電池板、集成電路等器件的重要原材料。單晶硅的制造是通過將多晶硅材料通過拉晶技術(shù)生長成為單晶硅晶體,這是一個嚴(yán)格控制氣氛和溫度的過程。
二、ADEV便攜式微量氧分析儀G9600在單晶硅生產(chǎn)中的應(yīng)用
在單晶硅生產(chǎn)過程中,氬氣的純度對硅片的質(zhì)量有著重要影響。為了確保氬氣的純度,ADEV便攜式微量氧分析儀G9600被廣泛應(yīng)用于實(shí)時監(jiān)測氬氣的氧含量。單晶硅生產(chǎn)中氬氣的使用及ADEV便攜式微量氧分析儀G9600應(yīng)用
該儀器具有高精度、高可靠性等優(yōu)點(diǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)對惰性氣體、碳?xì)錃怏w、He、H2、CO2中的氧含量進(jìn)行10ppb-10000ppm的分析。在單晶硅生產(chǎn)過程中,通過實(shí)時監(jiān)測氬氣的純度,可以確保硅片的質(zhì)量和性能。同時,該儀器還具有數(shù)據(jù)儲存功能,可存儲10000個數(shù)據(jù),方便后續(xù)分析和處理。
此外,ADEV G9600便攜式微量氧分析儀還具有快速響應(yīng)、高靈敏度等優(yōu)點(diǎn),能夠迅速準(zhǔn)確地檢測出氬氣中的微量氧含量。這有助于及時發(fā)現(xiàn)并解決問題,確保單晶硅生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行。
綜上所述,氬氣在單晶硅生產(chǎn)中扮演了重要的角色。它的特性使其成為理想的保護(hù)氣體,有助于防止硅材料氧化、減少熱能散失、確保產(chǎn)品質(zhì)量以及促進(jìn)單晶硅的正常生長。而ADEV G9600便攜式微量氧分析儀在單晶硅生產(chǎn)過程中則能夠?qū)崟r監(jiān)測氬氣的純度,確保硅片的質(zhì)量和性能。這些技術(shù)的應(yīng)用對于提高單晶硅的質(zhì)量和性能具有重要意義。
單晶硅生產(chǎn)中氬氣的使用及ADEV便攜式微量氧分析儀G9600應(yīng)用
埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司
聯(lián)系人:劉工可直接加微信在線交流18939876302
聯(lián)系電話:021-55581219菲美特微量氧分析儀POA200
傳真號碼:021-55581219菲美特露點(diǎn)儀DPT600Plus
移動電話:18939876302加別猶豫,微信同號
Email:adevchina@126.com
公司網(wǎng)址:www.bznjm.com
公司地址:上海市普陀區(qū)中山北路1759弄浦發(fā)廣場D座1714室激光氧分析儀
主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀, 便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀,離心機(jī)氧分析儀|GE流量計 氧量分析儀 氮?dú)庋醴治鰞xfei 代表處,辦事處,分公司,子公司,總代理,分析儀價格,分析儀維修,分析儀校準(zhǔn)