高純氣體應用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應用
高純氣體應用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈?
氣體在半導體制造中發(fā)揮著至關重要的作用，特別是在對氣體純度要求極高的工藝中。為了確保氣體的穩(wěn)定供應，必須構建高效且**的高純氣體應用系統(tǒng)。其中，管道傳輸作為整個系統(tǒng)中的關鍵環(huán)節(jié)，其工藝要求尤為嚴格。
管道傳輸在整個高純氣體應用系統(tǒng)中占據(jù)著核心地位。為了實現(xiàn)穩(wěn)定的氣體供應，需要針對不同氣體的特性進行專門設計。目前，半導體制造領域常見的管道系統(tǒng)架構包括樹枝型和環(huán)型。樹枝型架構更為常用，因為它結構清晰，易于與其他系統(tǒng)集成。然而，對于需要保持恒定壓力的用氣點，環(huán)型架構更為合適，但它的投資成本相對較高。高純氣體應用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應用
由于半導體工廠規(guī)模龐大，管線較長，工藝氦氣用氣點眾多，因此，對工藝氮氣管路系統(tǒng)的設計提出了更高的要求。為了滿足這一需求，可以采用樹枝型與環(huán)型相結合的設計方案。環(huán)型主管道主要確保用氣點的壓力穩(wěn)定，其管徑可小于樹枝型主管道的管徑，從而降低成本。
在半導體制程中，對于高純氣體應用系統(tǒng)的管件材料選擇十分嚴格。不銹鋼是*常用的材料，因為它具有優(yōu)良的抗腐蝕性和凹洞抵抗性。特別地，對于傳輸危險性氣體的管件，必須采用不銹鋼材質。例如，TFT-LCD面板廠對于P級要求（X10-9級）的制程氣體傳輸，通常采用SUS316材質的EP管材；對于一般制程氣體，則采用SUS316材質的BA管材。高純氣體應用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應用
對于這些管件的制作和施工要求十分嚴格。例如，表面粗糙度必須控制在一定范圍內，以減少氣體污染和泄漏的風險。此外，管件之間的連接方式也是關鍵因素。*佳的做法是以連續(xù)且無接口的方式進行連接，這樣可以*大限度地減少潛在的污染源和泄漏點。
在連接管件時，自動軌道式焊接法（Orbital Welding）是理想的選擇，因為它能確保連接的高品質。對于不銹鋼的焊接，應使用氬弧焊技術，并確保在焊接過程中向管內通入純凈的氬氣，以防止管件內壁因不當焊接而沉積碳，從而造成氣體污染。
另外，管件與各種配件之間的連接也必須采用金屬面對金屬面密封的方式進行。常見的氣體管路連接接頭方式有VCR和LOK（Swagelok）兩種。選擇哪種接頭形式應根據(jù)生產工藝對高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進行選擇。VCR接頭主要用于制程氣體和危險性氣體的傳輸，而LOK接頭通常用于惰性氣體、氮氣以及CDA等氣體的傳輸。
在當前的復雜環(huán)境中，**監(jiān)測氧氣含量變得至關重要。因此，我們特此推出一款專為復雜環(huán)境設計的OxyTrend電化學氧分析儀。這款設備符合ATEX分類（1/21區(qū)）的標準，確保在極端環(huán)境中穩(wěn)定運行，為**生產提供堅實屏障。高純氣體應用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應用
OxyTrend憑借其出色的精度、耐用性和**性，成為電化學防爆氧氣分析儀的佼佼者。無論您需要監(jiān)測ppm級別的微量氧氣還是百分比濃度的氧氣，OxyTrend都能為您提供即時、準確的數(shù)據(jù)，讓您對生產環(huán)境了如指掌。
無論是在化工、石化、固化、電子、金屬、制藥、工藝等行業(yè)，還是在常規(guī)環(huán)境、空氣分離和液化等場景中，OxyTrend都能發(fā)揮重要作用。它確保了生產流程的**與優(yōu)化，助力能源的有效回收，并**控制環(huán)境參數(shù)，成為您生產過程中的得力助手。
OxyTrend以人為本的設計理念讓操作變得簡便，讓您輕松掌握。它適用于各種應用場景，滿足ppm微量、百分比或純度測量的需求。其寬大的顯示屏提供了清晰易讀的讀數(shù)，微處理器確保所有功能的順暢運行。透過玻璃的光學按鈕讓用戶在危險區(qū)域也能輕松進行菜單操作。
這款防爆氧氣分析儀既適用于室內安裝也適用于室外環(huán)境。其電子元件被精心封裝在鋁制外殼中，而傳感器外殼則采用316不銹鋼材質，可選擇直通式或KF-40連接方式。高性能的電化學電池具有抗干擾性，確保在各種應用場景中都能表現(xiàn)出色。
OxyTrend提供了18個現(xiàn)場可設置的ppm或百分比范圍。用戶還可以根據(jù)需求自由配置測量范圍。此外，它還支持2線回路或使用RS485 ModBus RTU時的5線回路配置，滿足您不同的通信需求。
為了方便集成和擴展，OxyTrend提供了多種輸出選項。您可以選擇雙線、回路供電的4-20mA變送器，或使用RS485串行總線進行四線或五線連接。作為ModBus RTU主設備或從設備使用時，它還可以與其他ADEV 8RO4DI外部模塊連接，該模塊具有8個繼電器輸出和4個數(shù)字輸入，提升您的控制能力。
OxyTrend的硬件設計獨特，適合所有接線類型。其光學透過玻璃按鈕允許在不打開外殼的情況下進行菜單操作，方便快捷。圖形LCD顯示屏不僅提供自動范圍切換功能還具備趨勢可視化效果，讓您對數(shù)據(jù)變化一目了然。此外，這款分析儀還具備友好的菜單和直觀的界面設計、高精度電流傳感器、基于微處理器的電子零點自動校準技術等功能特點，提升您的使用體驗。
OxyTrend的防爆版本經過特殊設計專為危險區(qū)域應用打造無需在非危險位置安裝齊納屏障。這款分析儀維護需求低具備傳感器壽命指示和NAMUR錯誤指示等功能確保**的性能和準確性穩(wěn)定性同時*大限度地延長預期壽命。
在傳感器技術方面ADEV的氧傳感器在整個測量范圍內都表現(xiàn)出高水平的準確性、可靠性和線性度?；陔娕茧娀瘜W燃料電池原理制造的傳感器經過嚴格的質量控制程序保證了其**的性能和準確性穩(wěn)定性。此外該傳感器設計簡潔只需*少的維護無需清潔電極或添加電解液從而*大限度地延長了預期壽命。根據(jù)不同的應用需求傳感器能夠測量百萬分之0.01到100.0%的氧氣含量。
在完成管道系統(tǒng)的安裝后，還需進行一系列嚴格的驗收試壓與檢測工作。這些測試包括壓力測試、氦泄漏檢測、微量水分分析、微量氧分分析和顆粒測試等五項關鍵測試 。通過這些測試可以確保整個管道系統(tǒng)的性能和質量達到預期標準。高純氣體應用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應用
