氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
半導(dǎo)體，這種介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基石。在制造電子半導(dǎo)體器件時(shí)，單晶硅的氧濃度對其性能有著至關(guān)重要的影響，尤其是在單晶硅的生長過程中，氧含量的控制顯得尤為困難。因此，對硅片承載區(qū)域的氧氣含量進(jìn)行**監(jiān)測和控制變得至關(guān)重要。
硅片在傳輸、升降舟（進(jìn)出反應(yīng)室）以及向晶圓傳送盒傳送的過程中，都是在相對密封的硅片承載區(qū)域內(nèi)進(jìn)行的。由于硅片容易與空氣中的氧發(fā)生自然氧化反應(yīng)，生成被視為“污染”的不均勻氧化物，這不僅影響工藝結(jié)果，還可能導(dǎo)致硅片品質(zhì)下降甚至報(bào)廢。鑒于硅片承載區(qū)域復(fù)雜的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，包括多路管道閥門、檢測單元以及眾多的硅片傳輸單元，使得初始階段的氧氣含量較高，與目標(biāo)值存在較大差距。這種情況下，PID計(jì)算輸出的控制量可能過大，導(dǎo)致超調(diào)和參數(shù)整定困難，從而延長了實(shí)現(xiàn)控制目標(biāo)的時(shí)間。
為了解決上述問題，通常會采用氧氣（O2）分析儀和氣體質(zhì)量流量控制器來構(gòu)建一個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng)，以降低設(shè)備內(nèi)部氣氛中的氧含量。同時(shí)，為了確保微氧控制過程中的氣氛壓力在**范圍內(nèi)，還會采用基于PLC的閉環(huán)控制模型來控制氣氛中的壓力。
埃登威公司提供的ADEV微量氧氣分析儀——氧化鋯氧氣分析儀，以其24V的供電電壓和多種輸出選項(xiàng)（如4~20mA, 0~10V, RS232）而備受青睞。這款分析儀特別適用于不易接觸到氣體的測量場合或封閉系統(tǒng)，如通風(fēng)管道、煙道和容器內(nèi)。它并不是直接測量氧氣濃度，而是測量待測氣體中的氧分壓值。為了獲得氧氣濃度的直接輸出，氧氣分析儀必須在空氣中或已知特定參考濃度的氣體中進(jìn)行標(biāo)定。標(biāo)定過程中，輸出可以自動或手動標(biāo)定為一個(gè)固定參考值，這個(gè)值出廠時(shí)默認(rèn)為20.9%，代表普通大氣中的標(biāo)定值。此外，標(biāo)定值也可以通過RS232接口在已知參考濃度的氣體中設(shè)置。同時(shí)埃登威公司還有一款便攜式微量氧分析儀可以使用。氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
ADEV G9600 便攜式微量氧分析儀技術(shù)概覽
ADEV G9600便攜式微量氧分析儀，憑借其出色的技術(shù)性能、靈活的操作條件、強(qiáng)大的實(shí)用功能以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，為各行業(yè)的氣體分析提供了可靠的解決方案。
廣泛應(yīng)用于：
氣體分離與液化
純氣態(tài)烴類監(jiān)測
半導(dǎo)體制造
保護(hù)氣體在液體原料和易燃液體中的應(yīng)用
過程氣態(tài)單體監(jiān)測，如乙烯基氯、丙烯、丁二烯、異戊二烯、乙烯
氣體純度認(rèn)證
手套式操作箱及管路的泄漏檢查氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
天然氣的處理和傳輸
催化劑保護(hù)
稀有金屬惰性氣體焊接
波峰焊和回流焊
熱處理及退火
核燃料的處理及分離
化學(xué)反應(yīng)分析
頂空氣體分析
晶體成長
塑料生產(chǎn)
技術(shù)特點(diǎn)：
高精度測量：超越滿量程1%，保證結(jié)果的**性。
寬量程覆蓋：覆蓋0-1至0-1000ppm，并具備1%或25%量程的自動切換功能，適用于多領(lǐng)域應(yīng)用，包括氣體分離、純氣態(tài)烴類監(jiān)測、半導(dǎo)體制造和天然氣處理等領(lǐng)域，測量范圍廣泛，從10ppb至10000ppm。
實(shí)用功能：
數(shù)據(jù)存儲：支持高達(dá)10000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的存儲，便于回溯與分析。
多語言界面：支持英文和中文，滿足不同用戶的需求。
通信接口：配備RS485接口，便于數(shù)據(jù)傳輸和遠(yuǎn)程通信。
校準(zhǔn)與維護(hù)：
校準(zhǔn)方式：使用認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)氣體，確保測量準(zhǔn)確性。
溫度補(bǔ)償：內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能，保障測量穩(wěn)定性。
物理規(guī)格：
接口尺寸：采用通用的1/8”接頭，便于快速連接。
控制按鍵：側(cè)邊為不銹鋼開關(guān)，正面為功能鍵，設(shè)計(jì)直觀且操作便捷。緊湊設(shè)計(jì)，尺寸為155×300×340mm，便于攜帶。
操作條件：
流量要求：0.25-2.5 L/M，推薦流量為1 L/M。
工作壓力：0.2-1公斤，可輕松排空至大氣壓。
電源與續(xù)航：
電源類型：采用高效可充電電池，節(jié)能環(huán)保。
續(xù)航表現(xiàn)：單次充電可持續(xù)使用長達(dá)60天，開啟泵時(shí)續(xù)航為1天。
性能參數(shù)：
恢復(fù)時(shí)間：暴露于空氣中60秒后，用氮?dú)饣謴?fù)至10ppm僅需20分鐘。
響應(yīng)時(shí)間：達(dá)到90%滿量程僅需10秒，滿足實(shí)時(shí)監(jiān)測需求。
采樣系統(tǒng)：
流量控制：配備流量指示及四通閥，確保采樣準(zhǔn)確性。氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
高靈敏度：低于滿量程的0.5%，能夠捕捉到微小的氧氣變化。
傳感器詳情：
型號：S8201，免維護(hù)設(shè)計(jì)，降低維護(hù)成本和時(shí)間。在特定條件下，使用壽命長達(dá)24個(gè)月。
環(huán)境適應(yīng)性：
工作溫度：適應(yīng)0-45℃的工作環(huán)境，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。
質(zhì)量保證：
提供長達(dá)12個(gè)月的質(zhì)保期，保障用戶權(quán)益。樣氣接觸部分采用全不銹鋼材質(zhì)，確保耐用性和**性。內(nèi)置泵可作為可選配置，根據(jù)用戶需求靈活選擇是否安裝。
通過合理的標(biāo)定和閉環(huán)控制策略，可以有效地降低硅片承載區(qū)域的氧氣含量，從而確保半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和硅片的高品質(zhì)。ADEV G9600便攜式微量氧分析儀為各行業(yè)的專業(yè)用戶提供了精準(zhǔn)、可靠的氣體分析解決方案。氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
