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  • 氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

    氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略

    半導(dǎo)體,這種介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基石。在制造電子半導(dǎo)體器件時(shí),單晶硅的氧濃度對其性能有著至關(guān)重要的影響,尤其是在單晶硅的生長過程中,氧含量的控制顯得尤為困難。因此,對硅片承載區(qū)域的氧氣含量進(jìn)行**監(jiān)測和控制變得至關(guān)重要。

    硅片在傳輸、升降舟(進(jìn)出反應(yīng)室)以及向晶圓傳送盒傳送的過程中,都是在相對密封的硅片承載區(qū)域內(nèi)進(jìn)行的。由于硅片容易與空氣中的氧發(fā)生自然氧化反應(yīng),生成被視為“污染”的不均勻氧化物,這不僅影響工藝結(jié)果,還可能導(dǎo)致硅片品質(zhì)下降甚至報(bào)廢。鑒于硅片承載區(qū)域復(fù)雜的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),包括多路管道閥門、檢測單元以及眾多的硅片傳輸單元,使得初始階段的氧氣含量較高,與目標(biāo)值存在較大差距。這種情況下,PID計(jì)算輸出的控制量可能過大,導(dǎo)致超調(diào)和參數(shù)整定困難,從而延長了實(shí)現(xiàn)控制目標(biāo)的時(shí)間。

    為了解決上述問題,通常會采用氧氣(O2)分析儀和氣體質(zhì)量流量控制器來構(gòu)建一個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng),以降低設(shè)備內(nèi)部氣氛中的氧含量。同時(shí),為了確保微氧控制過程中的氣氛壓力在**范圍內(nèi),還會采用基于PLC的閉環(huán)控制模型來控制氣氛中的壓力。

    埃登威公司提供的ADEV微量氧氣分析儀——氧化鋯氧氣分析儀,以其24V的供電電壓和多種輸出選項(xiàng)(如4~20mA, 0~10V, RS232)而備受青睞。這款分析儀特別適用于不易接觸到氣體的測量場合或封閉系統(tǒng),如通風(fēng)管道、煙道和容器內(nèi)。它并不是直接測量氧氣濃度,而是測量待測氣體中的氧分壓值。為了獲得氧氣濃度的直接輸出,氧氣分析儀必須在空氣中或已知特定參考濃度的氣體中進(jìn)行標(biāo)定。標(biāo)定過程中,輸出可以自動或手動標(biāo)定為一個(gè)固定參考值,這個(gè)值出廠時(shí)默認(rèn)為20.9%,代表普通大氣中的標(biāo)定值。此外,標(biāo)定值也可以通過RS232接口在已知參考濃度的氣體中設(shè)置。同時(shí)埃登威公司還有一款便攜式微量氧分析儀可以使用。氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略

    ADEV G9600 便攜式微量氧分析儀技術(shù)概覽

    ADEV G9600便攜式微量氧分析儀,憑借其出色的技術(shù)性能、靈活的操作條件、強(qiáng)大的實(shí)用功能以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,為各行業(yè)的氣體分析提供了可靠的解決方案。

    廣泛應(yīng)用于:
    氣體分離與液化
    純氣態(tài)烴類監(jiān)測
    半導(dǎo)體制造
    保護(hù)氣體在液體原料和易燃液體中的應(yīng)用
    過程氣態(tài)單體監(jiān)測,如乙烯基氯、丙烯、丁二烯、異戊二烯、乙烯
    氣體純度認(rèn)證
    手套式操作箱及管路的泄漏檢查氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
    天然氣的處理和傳輸
    催化劑保護(hù)
    稀有金屬惰性氣體焊接
    波峰焊和回流焊
    熱處理及退火
    核燃料的處理及分離
    化學(xué)反應(yīng)分析
    頂空氣體分析
    晶體成長
    塑料生產(chǎn)

    技術(shù)特點(diǎn):
    高精度測量:超越滿量程1%,保證結(jié)果的**性。
    寬量程覆蓋:覆蓋0-1至0-1000ppm,并具備1%或25%量程的自動切換功能,適用于多領(lǐng)域應(yīng)用,包括氣體分離、純氣態(tài)烴類監(jiān)測、半導(dǎo)體制造和天然氣處理等領(lǐng)域,測量范圍廣泛,從10ppb至10000ppm。

    實(shí)用功能:
    數(shù)據(jù)存儲:支持高達(dá)10000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的存儲,便于回溯與分析。
    多語言界面:支持英文和中文,滿足不同用戶的需求。
    通信接口:配備RS485接口,便于數(shù)據(jù)傳輸和遠(yuǎn)程通信。

    校準(zhǔn)與維護(hù):
    校準(zhǔn)方式:使用認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)氣體,確保測量準(zhǔn)確性。
    溫度補(bǔ)償:內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能,保障測量穩(wěn)定性。

    物理規(guī)格:
    接口尺寸:采用通用的1/8”接頭,便于快速連接。
    控制按鍵:側(cè)邊為不銹鋼開關(guān),正面為功能鍵,設(shè)計(jì)直觀且操作便捷。緊湊設(shè)計(jì),尺寸為155×300×340mm,便于攜帶。

    操作條件:
    流量要求:0.25-2.5 L/M,推薦流量為1 L/M。
    工作壓力:0.2-1公斤,可輕松排空至大氣壓。

    電源與續(xù)航:
    電源類型:采用高效可充電電池,節(jié)能環(huán)保。
    續(xù)航表現(xiàn):單次充電可持續(xù)使用長達(dá)60天,開啟泵時(shí)續(xù)航為1天。

    性能參數(shù):
    恢復(fù)時(shí)間:暴露于空氣中60秒后,用氮?dú)饣謴?fù)至10ppm僅需20分鐘。
    響應(yīng)時(shí)間:達(dá)到90%滿量程僅需10秒,滿足實(shí)時(shí)監(jiān)測需求。

    采樣系統(tǒng):
    流量控制:配備流量指示及四通閥,確保采樣準(zhǔn)確性。氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略
    高靈敏度:低于滿量程的0.5%,能夠捕捉到微小的氧氣變化。

    傳感器詳情:
    型號:S8201,免維護(hù)設(shè)計(jì),降低維護(hù)成本和時(shí)間。在特定條件下,使用壽命長達(dá)24個(gè)月。

    環(huán)境適應(yīng)性:
    工作溫度:適應(yīng)0-45℃的工作環(huán)境,確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

    質(zhì)量保證:
    提供長達(dá)12個(gè)月的質(zhì)保期,保障用戶權(quán)益。樣氣接觸部分采用全不銹鋼材質(zhì),確保耐用性和**性。內(nèi)置泵可作為可選配置,根據(jù)用戶需求靈活選擇是否安裝。

    通過合理的標(biāo)定和閉環(huán)控制策略,可以有效地降低硅片承載區(qū)域的氧氣含量,從而確保半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和硅片的高品質(zhì)。ADEV G9600便攜式微量氧分析儀為各行業(yè)的專業(yè)用戶提供了精準(zhǔn)、可靠的氣體分析解決方案。氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測與控制策略

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