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            六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
    
        
    
            
    
		
    
    
        
    
	六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測

    

    
	
    

    

    
	六氟丁二烯作為一種在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域備受青睞的特種氣體，尤其在干法蝕刻工藝中展現(xiàn)出了**的性能。其高刻蝕速率、均勻的蝕刻效果以及出色的刻蝕選擇比，使其成為該工藝中的佼佼者。此外，與其他氟化物相比，六氟丁二烯的全球變暖潛能值（GWP）極低，幾乎可以忽略不計，這使其在環(huán)保方面具有顯著優(yōu)勢。在半導(dǎo)體制造的多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，如晶圓刻蝕、金屬蝕刻以及氧化物蝕刻等，六氟丁二烯均得到了廣泛應(yīng)用，展現(xiàn)了其作為環(huán)保高效特種氣體的獨特價值。

    

    
	測量六氟丁二烯氣體的微量氟化氫氣體該如何測量呢?這里我們給大家介紹一款A(yù)DEV激光HF氣體分析儀.

    

    
	

    

    
	
    
		AtLAS 激光氣體分析儀六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
	
    
	
    
		AtLAS 激光氣體分析儀基于可調(diào)諧激光吸收光譜技術(shù)（TDLAS）原理進(jìn)行測量，獲取待測氣體特征吸收的光譜譜線。半導(dǎo)體激光器發(fā)射出特定波長的激光束（僅能被被測氣體吸收），穿過被測氣體時，激光強度的衰減與被測氣體的濃度成一定的凼數(shù)關(guān)系，從而進(jìn)行的定量分析。
	
    
	
    
		AtLAS 激光氣體分析儀采用 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機箱，將微控制器與數(shù)字化處理技術(shù)相結(jié)合，具有完整的自我診斷功能。
	
    
	
    
		 
	
    
	
    
		技術(shù)原理：六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
	
    
	
    
		 
	
    
	
    
		
			
    
				
					
    
						利用電流和溫度**調(diào)制激光器（可調(diào)諧）波長， 可以掃描被測氣體的特
					
    
				    		
				
					
    
						產(chǎn)品特點：
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						定吸收峰｛無背景氣體吸收）， 得到該氣體吸收的二次諧波，利用二次諧波及該
					
    
				    		
				
					
    
						?
					
    
				    		
				
					
    
						可靠性和穩(wěn)定性好；
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						氣體的展寬信息，可計算出該氣體的濃度。
					
    
				    		
				
					
    
						?
					
    
				    		
				
					
    
						采用“單線光譜”技術(shù)，測量不受背景氣體交叉干擾；
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						?
					
    
				    		
				
					
    
						TDLAS 技術(shù)通過激光波長掃描技術(shù)修正了粉塵和視窗污染對測量的
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						影響；
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						?
					
    
				    		
				
					
    
						完善的自診斷功能；
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						?
					
    
				    		
				
					
    
						視窗表面覆蓋一塊鋼化玱璃，增強觸摸屏的撞擊保護(hù)；
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						?
					
    
				    		
				
					
    
						采用 7 寸彩色觸摸屏，顯示直觀，操作方便。
					
    
				    		
			
    
		    
	
    
	
    
		應(yīng)用領(lǐng)域：
	
    

    

    
	
    
		化工、焦化、制藥、冶金、環(huán)保、食品等發(fā)酵過程監(jiān)測，生物反應(yīng)器，堆肥處理，自動惰封系統(tǒng)，離心機，沼氣/填埋氣體中CH4 濃度監(jiān)測。
	
    
	
    
		
    
	
    

    

    
	
    
		
			
    
				
					
    
						技術(shù)指標(biāo)：
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						測量范圍
					
    
				    		
				
					
    
						0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						線性誤差
					
    
				    		
				
					
    
						±2%FS
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						重復(fù)性
					
    
				    		
				
					
    
						±1%FS
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						穩(wěn)定性
					
    
				    		
				
					
    
						±1%FS/半年
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						響應(yīng)時間
					
    
				    		
				
					
    
						T90 小于 10s
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						校準(zhǔn)周期
					
    
				    		
				
					
    
						1 年（建議）
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						顯示器
					
    
				    		
				
					
    
						7 寸彩色觸摸屏
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						氣路接口
					
    
				    		
				
					
    
						G1/4＂-Φ6 快擰接頭（可以定制）
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						接線方式
					
    
				    		
				
					
    
						接線端子
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						傳感器壽命
					
    
				    		
				
					
    
						大于 2 年（正常使用）
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						儀器壽命
					
    
				    		
				
					
    
						大于 5 年（正常使用）
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						供電電源
					
    
				    		
				
					
    
						85～264VAC，50/60Hz
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						儀器功耗
					
    
				    		
				
					
    
						＜20VA
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						環(huán)境溫度
					
    
				    		
				
					
    
						-10～+50℃
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						環(huán)境濕度
					
    
				    		
				
					
    
						小于 90%RH
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						進(jìn)氣壓力
					
    
				    		
				
					
    
						常壓±10%（出氣口應(yīng)為大氣壓）
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						進(jìn)氣流量
					
    
				    		
				
					
    
						1～3L/min
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						通訊
					
    
				    		
				
					
    
						RS485（標(biāo)配）/RS232（選配）
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						Modbus RTU 協(xié)議
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						數(shù)量：1 組
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						模擬信號
					
    
				    		
				
					
    
						輸出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持軟
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						件切換
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						負(fù)載：小于 500Ω
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						開關(guān)量信號
					
    
				    		
				
					
    
						報警點：1 個
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						繼電器觸點容量：24VDC，0.2A
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						 
					
    
				    		
				
					
    
						 
					
    
				    		
			
    
		    
	
    
	
    
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