Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱:
Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:
Mini ODS
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)
Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動裝置。
Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng) 的詳細(xì)介紹
Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)
Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動裝置。
Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)Mini ODS能夠拓展支持額外的獨(dú)立流程臭氧發(fā)生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護(hù)簡單，不需求消耗品或預(yù)防性維護(hù)。該系統(tǒng)也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監(jiān)分析儀交互。為了更加**，該系統(tǒng)也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測儀和臭氧破壞器子系統(tǒng)聯(lián)鎖。
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設(shè)計(jì)緊湊
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生產(chǎn)濃度超過21% w/w的臭氧
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19"機(jī)架固定或放置在桌面
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價(jià)格低，無消耗品
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完全整合的方案包括:
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高純度臭氧發(fā)生器
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高濃度臭氧分析儀
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閉環(huán)伺服控制器
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氧氣質(zhì)量流量控制器
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氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器
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背壓調(diào)節(jié)器
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電氣轉(zhuǎn)移閥
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Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)規(guī)格
Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)應(yīng)用
半導(dǎo)體
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化學(xué)氣相沉積 (CVD)
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原子層沉積 (ALD)
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氧化物生長
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表面處理
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顆粒清潔
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光刻膠去除
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灰化
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