Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS
ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求*高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合完全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導體機臺聯(lián)動，插入即可使用。產(chǎn)品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀，Fei （維修中心，代表處，總代理，分公司，子公司，售后中心，銷售中心，上海辦，辦事處）
該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
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高純度水冷臭氧發(fā)生器，可生產(chǎn)濃度高達350 g/Nm3的臭氧
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先進的高濃度監(jiān)測儀
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使用質量流量控制器監(jiān)測和控制臭氧和進料氣
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完整的**聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)
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支持*多四個獨立的伺服控制回路
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19英寸機架固定，頂端配有排氣系統(tǒng)，底端配有輪子
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS規(guī)格
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS - 氧氣輸送系統(tǒng)具有多功能性，且安裝使用簡單，已經(jīng)廣泛應用在需求不同濃度、流量的薄片處理應用中，例如：
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半導體
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化學氣相沉積(CVD)
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原子層沉積(ALD)
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氧化物生長
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表面處理
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粒子清潔
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光刻膠去除
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灰化
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