EX-410-R日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器
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產(chǎn)品名稱:
EX-410-R日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器
產(chǎn)品型號(hào):
kelk EX-410-R
產(chǎn)品展商:
其它品牌
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簡單介紹
日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器直接循環(huán)式化學(xué)恒溫裝置是濕式工藝*的，它采用串聯(lián)式冷卻和加熱裝置，不會(huì)洗脫金屬離子
EX-410-R日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器 的詳細(xì)介紹
日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器
金屬イオンの溶出汚染がないインライン型冷卻加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない 直接循環(huán)式薬液恒溫裝置。
KELKのケミカルサーキュレータは、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液 の溫度を高精度にコントロールするもので、半導(dǎo)體製造のウェットプロセスでは欠かせ ないものとして広くご愛用をいただいてきました。近年の使用薬液の多様化、高メガ ビット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応えし、さらにニューアップしました。 （注）高溫薬液用としてはCSヒータをお奨めします。EX-410-R日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器
冷卻加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス?fàn)钐克丐蚴褂盲筏皮?、溶出金屬イオ?による汚染の心配がなく、表面保護(hù)膜も不要のため剝離による能力低下もありません。 2.ゴムOリングが直接液に觸れないシール構(gòu)造のため、酸性液、アルカリ性液など薬液毎 のシール材質(zhì)の選定が不要です。 3.電子冷熱方式のため、室溫付近の溫度コントロールに適し且つ高精度です。 4.本裝置は國際保護(hù)規(guī)格IP31に適合しています。 5.裝置には、薬液や冷卻水の漏れを検知する漏液センサ、異常溫度を検知する溫度ス イッチを內(nèi)蔵していますので、安心してご使用いただけます。 ■特
日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器
