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            產(chǎn)品資料
    
        
    
            
    
                

    
    
    
    
        
    
            
    
                日本AMAYA株式會社天谷制作常壓CVD設(shè)備玻璃基板沉積設(shè)備
            
    
        
    
        
    
        
    
        
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        產(chǎn)品名稱: 
            日本AMAYA株式會社天谷制作常壓CVD設(shè)備玻璃基板沉積設(shè)備
            
        
    
            產(chǎn)品型號:
            
    
        
    
            產(chǎn)品展商:
            其它品牌
    
        
        
        
        
    
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                簡單介紹
            
    
            
    
                
    日本AMAYA株式會社天谷制作用于剛性和柔性設(shè)備（如FPD）的常壓CVD設(shè)備玻璃基板沉積設(shè)備用于剛性和柔性設(shè)備（如FPD）的常壓CVD設(shè)備玻璃基板沉積設(shè)備低溫（150~300°C）處理高質(zhì)量 SiO2 成膜低應(yīng)力、等離子體損傷、小顆粒占地面積小，降低了安裝和維護成本，無需真空或等離子處理低價特征這是第4.5代玻璃基板沉積系統(tǒng)，與FPD等剛性和柔性器件兼容。配備兩個氣頭，有效成膜寬度為760mm，吸
    
            
    
            
    
                
                    日本AMAYA株式會社天谷制作常壓CVD設(shè)備玻璃基板沉積設(shè)備  的詳細介紹
            
    
            
    
                
                                    
    日本AMAYA株式會社天谷制作
    用于剛性和柔性設(shè)備（如FPD）的常壓CVD設(shè)備玻璃基板沉積設(shè)備

    產(chǎn)品信息
    用于剛性和柔性設(shè)備（如FPD）的常壓CVD設(shè)備
    玻璃基板沉積設(shè)備
    • 低溫（150~300°C）處理
    • 高質(zhì)量 SiO2 成膜低應(yīng)力
      、等離子體損傷、小顆粒
    • 占地面積小，降低了安裝和維護成本
      ，無需真空或等離子處理
    • 低價
    圖片關(guān)鍵詞
    特征
    • 這是第4.5代玻璃基板沉積系統(tǒng)，與FPD等剛性和柔性器件兼容。
    • 配備兩個氣頭，有效成膜寬度為760mm，吸附式加熱階段為吸附式加熱階段，溫度可控性±2%以內(nèi)。
    • 可以在4°C下在5.250代玻璃基板上以100片/小時或更高的速度沉積2nm SiO25薄膜，并且可以保證薄膜厚度均勻性在10%以內(nèi)。
    性能
    均勻的薄膜厚度±10%
    支持的玻璃基板尺寸4.5 代
    氣體種類SiH4，O 3， PH3， B2H6
    薄膜沉積溫度150~300°C
    主要規(guī)格
    設(shè)備尺寸1300毫米（寬） x 7350毫米（深） x 2000毫米（高）
    氣頭配備兩個有效寬度為 760 mm 的氣頭，用于沉積

                                    









    
    
    
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            內(nèi)容
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
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    2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
        
    
    
    

    


    
            
    
        
    
    
    

    

            
    
            
        
    
    
    
    
    
        




    
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