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            產(chǎn)品資料
    
        
    
            
    
                

    
    
    
    
        
    
            
    
                日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S
            
    
        
    
        
    
        
    
        
        如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以 
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        產(chǎn)品名稱: 
            日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S
            
        
    
            產(chǎn)品型號:
            
    
        
    
            產(chǎn)品展商:
            其它品牌
    
        
        
        
        
    
            產(chǎn)品文檔:
            無相關(guān)文檔
        
    
        
        
    
        
    
            
    
                簡單介紹
            
    
            
    
                
    日本AMAYA株式會社天谷制作所連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施特征可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運輸156
    
            
    
            
    
                
                    日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S  的詳細(xì)介紹
            
    
            
    
                
                                    
    日本AMAYA株式會社天谷制作所
    連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S

    產(chǎn)品信息
    連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池
    AMAX1000S
    • 156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量
    • 采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施
    圖片關(guān)鍵詞
    特征
    • 可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
    • 我們開發(fā)了可實現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭，以及實現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機(jī)構(gòu)。 此外，還增加了燈管加熱機(jī)構(gòu)，以實現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
    • 我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
    • 卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤，并且還具有冷卻功能。
    性能
    均勻的薄膜厚度≦±10.0%
    支持的晶圓尺寸156毫米方形，125毫米方形
    氣體種類SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2
    薄膜沉積溫度~430°C
    生產(chǎn)力1500張/小時
    主要規(guī)格
    設(shè)備尺寸1860毫米（寬） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高）
    加熱機(jī)構(gòu)電阻加熱和燈加熱
    裝載卸載裝載：卡盤，卸載：伯努利卡盤
    分散頭（氣體噴嘴）A63 長頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭）

                                    









    
    
    
        產(chǎn)品留言
    
    
    
    
        
    
            標(biāo)題
            
    
                
            
    
        
    

        
    
            聯(lián)系人
            
    
                
            
    
        
    
        
    
            聯(lián)系電話
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
            內(nèi)容
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
            驗證碼
            
    
                
            
    
            
            點擊換一張
        
    
        
    
            
            
        
    
        
    
            注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
    2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
        
    
    
    

    


    
            
    
        
    
    
    

    

            
    
            
        
    
    
    
    
    
        




    
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