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            產(chǎn)品資料
    
        
    
            
    
                

    
    
    
    
        
    
            
    
                日本AMAYA株式會社天谷制作所柔性常壓CVD設(shè)備D501系列
            
    
        
    
        
    
        
    
        
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        產(chǎn)品名稱: 
            日本AMAYA株式會社天谷制作所柔性常壓CVD設(shè)備D501系列
            
        
    
            產(chǎn)品型號:
            
    
        
    
            產(chǎn)品展商:
            其它品牌
    
        
        
        
        
    
            產(chǎn)品文檔:
            無相關(guān)文檔
        
    
        
        
    
        
    
            
    
                簡單介紹
            
    
            
    
                
    日本AMAYA株式會社天谷制作所用于小規(guī)模生產(chǎn)和開發(fā)的柔性常壓CVD設(shè)備D501系列用于小規(guī)模生產(chǎn)和開發(fā)的柔性常壓CVD設(shè)備D501系列用于將多個晶圓裝入大托盤的間歇式常壓CVD設(shè)備特征這是一種間歇式常壓CVD系統(tǒng)，其中多個晶圓被裝入一個大托盤中，托盤在分散頭下往復(fù)運動以形成薄膜。它可用于變形的基材。它具有緊湊的儀器尺寸和較小的占地面積。性能均勻的薄膜厚度取決于薄膜類型和厚度支持的晶圓尺寸根據(jù)可加
    
            
    
            
    
                
                    日本AMAYA株式會社天谷制作所柔性常壓CVD設(shè)備D501系列  的詳細介紹
            
    
            
    
                
                                    
    日本AMAYA株式會社天谷制作所
    用于小規(guī)模生產(chǎn)和開發(fā)的柔性常壓CVD設(shè)備D501系列

    產(chǎn)品信息
    用于小規(guī)模生產(chǎn)和開發(fā)的柔性常壓CVD設(shè)備
    D501系列
    • 用于將多個晶圓裝入大托盤的間歇式常壓CVD設(shè)備
    圖片關(guān)鍵詞
    特征
    • 這是一種間歇式常壓CVD系統(tǒng)，其中多個晶圓被裝入一個大托盤中，托盤在分散頭下往復(fù)運動以形成薄膜。
    • 它可用于變形的基材。
    • 它具有緊湊的儀器尺寸和較小的占地面積。
    性能
    均勻的薄膜厚度取決于薄膜類型和厚度
    支持的晶圓尺寸根據(jù)可加熱區(qū)
    氣體種類SiH4， O 2， PH 3， B 2 H6， N 2（TEOS， TEB， TMOP，O3， TMA 可選）
    薄膜沉積溫度350°C~450°C
    生產(chǎn)力-
    主要規(guī)格
    設(shè)備尺寸1200毫米（寬） x 2480毫米（深） x 1940毫米（高）
    加熱機構(gòu)電阻加熱
    裝載卸載手動方法
    分散頭（氣體噴嘴）A63頭

                                    









    
    
    
        產(chǎn)品留言
    
    
    
    
        
    
            標(biāo)題
            
    
                
            
    
        
    

        
    
            聯(lián)系人
            
    
                
            
    
        
    
        
    
            聯(lián)系電話
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
            內(nèi)容
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
            驗證碼
            
    
                
            
    
            
            點擊換一張
        
    
        
    
            
            
        
    
        
    
            注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
    2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
        
    
    
    

    


    
            
    
        
    
    
    

    

            
    
            
        
    
    
    
    
    
        




    
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