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            產(chǎn)品資料
    
        
    
            
    
                

    
    
    
    
        
    
            
    
                日本AMAYA天谷制作所株式會社晶圓常壓CVD設(shè)備A6300S
            
    
        
    
        
    
        
    
        
        如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以 
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        產(chǎn)品名稱: 
            日本AMAYA天谷制作所株式會社晶圓常壓CVD設(shè)備A6300S
            
        
    
            產(chǎn)品型號:
            
    
        
    
            產(chǎn)品展商:
            其它品牌
    
        
        
        
        
    
            產(chǎn)品文檔:
            無相關(guān)文檔
        
    
        
        
    
        
    
            
    
                簡單介紹
            
    
            
    
                
    日本AMAYA天谷制作所株式會社量產(chǎn)6英寸以下小直徑晶圓的常壓CVD設(shè)備A6300S量產(chǎn)6英寸以下小直徑晶圓的常壓CVD設(shè)備A6300S6 英寸 吞吐量為每小時 120 張采用SiC托盤防止重金屬污染的對策特征這是一種連續(xù)常壓CVD系統(tǒng)，可滿足小直徑晶圓批量生產(chǎn)設(shè)備的需求，實現(xiàn)每小時120片晶圓的吞吐量。該設(shè)備通過運輸系統(tǒng)實現(xiàn)批量生產(chǎn)，該系統(tǒng)*大限度地減少了為實現(xiàn)各種薄膜沉積區(qū)域而開發(fā)的分散頭和托
    
            
    
            
    
                
                    日本AMAYA天谷制作所株式會社晶圓常壓CVD設(shè)備A6300S  的詳細(xì)介紹
            
    
            
    
                
                                    
    日本AMAYA天谷制作所株式會社

    量產(chǎn)6英寸以下小直徑晶圓的常壓CVD設(shè)備A6300S


    產(chǎn)品信息
    量產(chǎn)6英寸以下小直徑晶圓的常壓CVD設(shè)備
    A6300S
    • 6 英寸 吞吐量為每小時 120 張
    • 采用SiC托盤防止重金屬污染的對策
    圖片關(guān)鍵詞
    特征
    • 這是一種連續(xù)常壓CVD系統(tǒng)，可滿足小直徑晶圓批量生產(chǎn)設(shè)備的需求，實現(xiàn)每小時120片晶圓的吞吐量。
    • 該設(shè)備通過運輸系統(tǒng)實現(xiàn)批量生產(chǎn)，該系統(tǒng)*大限度地減少了為實現(xiàn)各種薄膜沉積區(qū)域而開發(fā)的分散頭和托盤的數(shù)量，并降低了成本。
    • 使用SiC托盤很難發(fā)生重金屬污染。 此外，可以獲得穩(wěn)定的工藝性能，而由于熱引起的老化很小。
    • 標(biāo)配自動托盤更換功能，實現(xiàn)工人**，縮短維護時間。 此外，自動抬起頭部底座的機構(gòu)便于清潔。
    性能
    均勻的薄膜厚度≦±4.0%
    支持的晶圓尺寸≦6英寸
    氣體種類SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2
    薄膜沉積溫度350°C~450°C
    生產(chǎn)力120 頁/小時
    主要規(guī)格
    設(shè)備尺寸1500毫米（寬） x 2850毫米（深） x 2000毫米（高）
    加熱機構(gòu)電阻加熱
    裝載卸載機器人 CtoC 運輸
    分散頭（氣體噴嘴）A63 頭（標(biāo)準(zhǔn) 2 頭）

                                    









    
    
    
        產(chǎn)品留言
    
    
    
    
        
    
            標(biāo)題
            
    
                
            
    
        
    

        
    
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            內(nèi)容
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
            驗證碼
            
    
                
            
    
            
            點擊換一張
        
    
        
    
            
            
        
    
        
    
            注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
    2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
        
    
    
    

    


    
            
    
        
    
    
    

    

            
    
            
        
    
    
    
    
    
        




    
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