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            產(chǎn)品資料
    
        
    
            
    
                

    
    
    
    
        
    
            
    
                日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備
            
    
        
    
        
    
        
    
        
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        產(chǎn)品名稱: 
            日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備
            
        
    
            產(chǎn)品型號:
            
    
        
    
            產(chǎn)品展商:
            其它品牌
    
        
        
        
        
    
            產(chǎn)品文檔:
            無相關(guān)文檔
        
    
        
        
    
        
    
            
    
                簡單介紹
            
    
            
    
                
    日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX120012 英寸 每小時 51 張的吞吐量采用SiC托盤防止重金屬污染的對策特征這是傳統(tǒng)AMAX系列中直徑*大的12英寸晶圓加工設(shè)備。SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，從優(yōu)化的A2型分散頭進行表面反應(yīng)，在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。 可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。使用SiC托盤
    
            
    
            
    
                
                    日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備  的詳細介紹
            
    
            
    
                
                                    
    日本AMAYA天谷制作所株式會社
    12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備

    產(chǎn)品信息
    12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備
    AMAX1200
    • 12 英寸 每小時 51 張的吞吐量
    • 采用SiC托盤防止重金屬污染的對策
    圖片關(guān)鍵詞
    特征
    • 這是傳統(tǒng)AMAX系列中直徑*大的12英寸晶圓加工設(shè)備。
    • SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，從優(yōu)化的A2型分散頭進行表面反應(yīng)，在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。 可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。
    • 使用SiC托盤很難發(fā)生重金屬污染。 此外，可以獲得穩(wěn)定的工藝性能，而由于熱引起的老化很小。
    • 標(biāo)配自動托盤更換功能，實現(xiàn)工人**，縮短維護時間。 此外，自動抬起頭部底座的機構(gòu)便于清潔。
    性能
    均勻的薄膜厚度≦±3.0%
    支持的晶圓尺寸12寸
    氣體種類SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2
    薄膜沉積溫度~450°C
    生產(chǎn)力51張/小時FOUP兼容標(biāo)準(zhǔn)機
    主要規(guī)格
    設(shè)備尺寸2165毫米（寬） x 4788毫米（深） x 2250毫米（高）
    加熱機構(gòu)電阻加熱
    裝載卸載機器人 CtoC 運輸
    分散頭（氣體噴嘴）A63 頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭）


                                    









    
    
    
        產(chǎn)品留言
    
    
    
    
        
    
            標(biāo)題
            
    
                
            
    
        
    

        
    
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            內(nèi)容
            
    
                
            
    
        
    
        
        
    
            驗證碼
            
    
                
            
    
            
            點擊換一張
        
    
        
    
            
            
        
    
        
    
            注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
    2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
        
    
    
    

    


    
            
    
        
    
    
    

    

            
    
            
        
    
    
    
    
    
        




    
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