半導(dǎo)體高純氣體CQC系統(tǒng)集成
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產(chǎn)品名稱:
半導(dǎo)體高純氣體CQC系統(tǒng)集成
產(chǎn)品型號(hào):
ppb級電子氣微量氧水分析儀
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
半導(dǎo)體高純氣體CQC系統(tǒng)集成
按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類，特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣，電子大宗氣作為半導(dǎo)體集成電路制造的關(guān)鍵材料，其生產(chǎn)的不間斷性、**性等對于半導(dǎo)體集成電路制造起著關(guān)鍵性作用，其中cqc分析儀的讀值對整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性、可靠性和質(zhì)量、**起著決定性作用
半導(dǎo)體高純氣體CQC系統(tǒng)集成 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體高純氣體CQC系統(tǒng)集成
我們知道電子大宗氣是發(fā)展集成電路、微電子、光電子，尤其是超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體發(fā)光器件、液晶顯示器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，并從根本上制約著電路和器件的**性和準(zhǔn)確性，按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類，特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣，電子大宗氣作為半導(dǎo)體集成電路制造的關(guān)鍵材料，其生產(chǎn)的不間斷性、**性等對于半導(dǎo)體集成電路制造起著關(guān)鍵性作用，其中cqc分析儀的讀值對整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性、可靠性和質(zhì)量、**起著決定性作用；傳統(tǒng)方案是由操作人員對數(shù)值設(shè)簡單的ooc或oos報(bào)警，出現(xiàn)問題后人員再對事件進(jìn)行分析判斷和處理的故障后分析處理，但是這種方法很難判斷故障原因，而且維修時(shí)間比較長，同時(shí)處理時(shí)可能造成嚴(yán)重的事故。
半導(dǎo)體高純氣體CQC系統(tǒng)集成主要由氣體的水分分析儀，氧分分析儀，顆粒分析儀和氣象色譜分析儀組成，針對氣體中的水分, 氧分, 固體顆粒物，碳氧化合物，碳?xì)浠衔?，? 氫等雜質(zhì)氣體的含量進(jìn)行測量監(jiān)控。
通常測定高純氣體中 10- 6～10- 9量級 O2時(shí)，則赫茲電池式氧分析儀更有獨(dú)到之處，而其他氧分析儀則不能滿足其要求，而對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有赫茲電池式氧分析儀才能排除其干擾，防止傳感器中毒，給出準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)。赫茲電池式氧分析儀的代表廠家是日本液化空氣公司。
微量水分析儀一般選擇光纖衰蕩技術(shù)，以Tiger Optics和光能科技為代表。
顆粒度儀則可以選擇PMS等三家公司品牌。
所有 CQC 儀器柜都配置有各分析儀器所需硬件，即儀器機(jī)柜、管件、閥件、氫氣泄漏偵測器、零點(diǎn)純化器、
過濾器等。樣氣、標(biāo)氣、儀表氣、輔助氣等氣路銜接口均設(shè)置于儀器柜上方，并于各儀器機(jī)柜上方設(shè)置有 4”
負(fù)壓抽風(fēng)口。所需管路，閥件，輔助件均為 EP 級，并遵照客戶所規(guī)定品牌供應(yīng)商;管路焊接均采用自動(dòng)焊接， 以符合超高純氣體使用要求。
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